品牌： NIKON（尼康）
型號： MS-XS/MS-Y
設備來源／適用設備： NIKON 半導體曝光設備相關零組件
品名： 光罩台伺服驅動器
英文名稱： Reticle Stage Servo Driver

NIKON MS-XS/MS-Y 光罩台伺服驅動器，為半導體曝光設備相關的伺服控制零組件，主要應用於光罩台運動控制及精密定位系統，協助設備執行高精度的運動控制作業。

✦ 本產品可作為 NIKON 半導體設備維修、伺服驅動器更換及備品採購參考，適合精密定位與半導體設備維護相關需求。
✦ 實際產品規格、驅動功能、控制軸向、電氣參數及適用設備機型，請以原廠技術資料與產品實物標示為準，購買前請確認完整型號及設備相容性。